タイトル：ISO/TC202（マイクロビームアナリシス）における国際標準化 

著者名：小林 尚, 村山順一郎, 日野谷重晴, 齋藤昌樹

雑誌名：表面科学

巻号　：Vol. 29, No. 1

掲載　：42-49

掲載年：2008

タイトル：Evaluation of both image resolution and contrast-to-noiseratio in scanning electron microscopy

著者名：Tohru Ishitani, Mitsugu Sato

雑誌名：Journal of Electron Microscopy

巻号　：56

掲載　：145–151

掲載年：2007

タイトル：Influence of a combination of random noise and pattern-edge width (in pixels) on contrast-to-gradient image resolution in scanning electron microscopy

著者名：Tohru Ishitani, Mitsugu Sato

雑誌名：Journal of Electron Microscopy

巻号　：55

掲載　：253-260

掲載年：2006

タイトル：A New Algorithm to Estimate SEM Image Resolution Using the Fourier Transform

著者名：Miyuki Matsuya, Koji Yoshida and Masaki Saito

雑誌名：16th International Microscopy Congress, Sapporo, Japan. Proceedings

巻号　：

掲載　： 580

掲載年： 2006

タイトル：マイクロビームアナリシスの国際標準化 (ISO/TC202) の動向

著者名：小林 尚、村山 順一郎、 斉藤 昌樹、 奥村 豊彦、 丹羽 直昌、 大堀 謙一、 梅原 博行、 田中 幸基、 源内 規夫、 日野谷 重晴 

雑誌名：真空

巻   号 ：48巻4号

掲   載 ：274-281 

掲載年：2005 

イトル：ISO/TC202 における EPMA分析に関する標準化の現状 

著者名：村山 順一郎

雑誌名： Journal of Surface Analysis 

巻   号 ：Vol.12 No. 4

掲   載 ：369 - 376

掲載年：2005

タイトル：走査電子顕微鏡の分解能評価法 －日本からのISO規格化提案－

著者名：佐藤 貢、松谷 幸、石谷 亨

雑誌名：荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会、第169回研究会資料 17A-1151

巻号　：

掲載　： 9-17

掲載年：2005

タイトル：Summary of ISO/TC 201 Standard: XIX ISO 17331:2004 – Surface chemical analysis – Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

著者名：Yoshihiro Mori

雑誌名：Surface and Interface Analysis

巻   号 ：37

掲   載 ： 522-523

掲載年： 2005 

タイトル：Influence of random noise on the contrast-to-gradient image resolution in scanning electron microscopy

著者名：Tohru Ishitani, Chisato Kamiya, Mitsugu Sato

雑誌名：Journal of Electron Microscopy

巻号　：54

掲載　：85–97

掲載年：2005

タイトル：Reference sample for the evaluation of SEM image resolution at a high magnification—nanometer-scale Au particles on an HOPG substrate

著者名：Shigeo Okayama, Satoshi Haraichi, Hirofumi Matsuhata

雑誌名：Journal of Electron Microscopy

巻号　：54

掲載　：345-350

掲載年：2005

タイトル：Effective parameters of estimating SEM resolution by Fourier transform method　

著者名：Miyuki Matsuya, Masaki Saito　

雑誌名：Proceedings of the Eighth Asia-Pacific Conference on Electron Microscopy, Kanazawa

巻号　：

掲載　： 50-51

掲載年： 2004

タイトル：Contrast-to-gradient method for the evaluation of image resolution taking account of random noise in scanning electron microscopy

著者名： Tohru Ishitani, Mitsugu Sato 

雑誌名：Journal of Electron Microscopy 

巻号　：53

掲載　：245–255 

掲載年：2004

タイトル：Contrast-to-gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy

著者名：Tohru Ishitani, Mitsugu Sato

雑誌名：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A

巻号　：519

掲載　：251-263

掲載年：2004

タイトル：小特集「表面分析法の標準化」

著者名： 表面分析法の標準化の現状       吉原 一紘  p.3

　　　　 電子分光法の標準化       田沼 繁夫  p.4

　　　　 深さ方向分析法の標準化       鈴木 峰晴  p.8

 　　　　二次イオン質量分析法の標準化       本間 芳和  p.12

                グロー放電分析法の特徴と国際標準化       鈴木 茂、柿田 和俊、我妻 和明  p.16

                 全反射蛍光 X 線分析法の標準化       合志 陽一  p.20

                 EPMA, AEM, SEM における国際規格化       小林 尚、村山 順一郎、丹羽 直昌、大堀 謙一、日野谷 重晴、斉藤 昌樹  p.24

                 表面分析法の標準化―データ処理法の標準化―        古川 洋一郎 p.29

                 表面分析関連標準物質開発の計画と現状       小島 勇夫  p.33

雑誌名：ま て り あ   

巻   号 ：Vol.42　No.1　

掲載年：2003

タイトル：SIMS round-robin study of depth profiling of arsenic implants in silicon　

著者名：M. Tomita, T. Hasegawa, S. Hashimoto, S. Hayashi, Y. Homma, S. Kakehashi, Y. Kazama, K. Koezuka, et al.

雑誌名：Applied Surface Science

巻   号 ：203/204

掲   載 ： 465～

掲載年： 2003

タイトル：SEM分解能評価法の標準化（Ⅰ）SEMに関する倍率校正、分解能評価法の規格化

著者名： 岡山重夫、松谷 幸、佐藤 貢, 粉川良平、石谷 亨、神田公生、斉藤昌樹

雑誌名：電子顕微鏡（日本顕微鏡学会第59回学術講演会　発表予稿集 ）

巻号　：38

掲載　：59

掲載年：2003

タイトル：SEM分解能評価法の標準化（Ⅱ） 自己相関関数を用いた分解能の評価

著者名： 松谷 幸、斉藤昌樹、岡山重夫、佐藤 貢, 石谷 亨、神田公生、粉川良平 

雑誌名：電子顕微鏡（ 日本顕微鏡学会第59回学術講演会　発表予稿集 ）

巻号　：38

掲載　：59

掲載年：2003

タイトル：SEM分解能評価法の標準化 (III)  画像の濃度勾配を利用した分解能評価法(CG法)

著者名： 石谷亨、佐藤貢、神田公生、松谷幸、岡山重夫、粉川良平  

雑誌名：電子顕微鏡 （日本顕微鏡学会第59回学術講演会　発表予稿集 ）

巻号　：38

掲載　：60

掲載年：2003

タイトル：EPMA, AEM, SEMにおける国際規格化

著者名：小林 尚, 村山 順一郎, 丹羽 直昌, 大堀 謙一, 日野谷 重晴, 斉藤 昌樹

雑誌名：まてりあ

巻号　：42

掲載　：24-28

掲載年：2003

タイトル：Noise effect on the measurement of SEM resolution

著者名：Miyuki Matsuya, Masaki Saito

雑誌名： The 3rd Symposium on Charged Particle Optics　15A-1097

巻号　：

掲載　： 13-16

掲載年：2003

タイトル： SEM画像においてランダムノイズを考慮した分解能評価法

著者名：石谷 亨、佐藤 貢　

雑誌名：荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会、第161回研究会資料 15A-1098

巻号　：

掲載　： 17-23

掲載年：2003

タイトル：ISO TC201 表面化学分析の現状と動向・用語、一般的手順、データ管理及び取り扱い 

著者名：古川 洋一郎

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲   載 ：45～

掲載年：2002

タイトル： ISO TC201 表面化学分析の現状と動向・深さ方向分析 

著者名：梶原 和夫

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲  載 ：54～

掲載年：2002

タイトル：ISO TC201 表面化学分析の現状と動向　-オージェ電子分光法、X線光電子分光法 -

著者名：田沼 繁夫

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲   載 ：60～

掲載年：2002

タイトル： ISO TC201 表面化学分析の現状と動向-二ISO TC201 表面化学分析の現状と動向-二次イオン質量分析法 イオン質量分析法 

著者名：林 俊一

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻    号 ：Vol.9, No. 1

掲   載  ：64～

掲載年：2002

タイトル：  ISO TC201 表面化学分析の現状と動向-GDSの国際標準化の背景・動向 

著者名：鈴木 茂、柿田 和俊 

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲   載 ：67～

掲載年：2002

タイトル：ISOにおけるのエネルギー軸校正法  

著者名：橋本 哲、田沼 繁夫 

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.8, No. 2

掲   載 ：166～172

掲載年：2002

タイトル：感度係数法による定量分析 -マトリクス補正法を越えるか

著者名：  田沼繁夫、木村隆

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲   載 ：72～

掲載年：2002

タイトル：Activity in SASJ toward Standardization 

著者名：  Mineharu Suzuki 

雑誌名：Journal of Surface Analysis  

巻   号 ：Vol.9, No. 1

掲   載 ：73～

掲載年：2002

タイトル：A method for personal expertise-independent evaluation of image resolution in the SEM

著者名：  Tohru Ishitani, Mitsugu Sato 

雑誌名：Scanning 

巻号　：24

掲載　：191-203 

掲載年：2002

タイトル：Contrast‐to‐gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy

著者名： Tohru Ishitani, Mitsugu Sato 

雑誌名：Journal of Electron Microscopy 

巻号　：51

掲載　：369-382 

掲載年：2002