ISO規格 TC 202
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ISO/TC 202 Microbeam analysis マイクロビーム分析
ISO 5820:2024 - new -
MBA － Hyper-dimensional data file specification (HMSA)
「マイクロビーム分析 — MSA/MAS/AMAS 超多次元データファイルの仕様」 提案国：SAC（中国）
タイトル、作成者、作成日付などの情報を記録する<Header> リスト要素と実験条件などを記録する<Conditions> リスト要素、データ配列のサイズや保存位置を示す<Dataset> 要素からなるUTF-8 文字コードを用いたXML 言語のファイルとデータをバイナリーのままで保存するファイルからなるデータファイルフォーマットの仕様を記述している。HMSA ファイルフォーマットを取り扱うために必要なXML 言語に関する説明も含まれている。
MBA － Electron probe microanalysis － Methods for elemental-mapping analysis using wavelength-dispersive spectroscopy
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 波長分散 X 線分法による元素面分析法」 提案国：JISC（日本）
この規格は、EPMA で元素分布測定を正しく行うためのものである。まず、EPMA で元素分布測定を行う際の試料表面前処理法を紹介し、続いて電子線照射条件や試料ステージ走査と電子線走査の選択法を規定している。次に、元素分布測定結果の表示法の規定を詳細記述することによって、ユーザーの課題にとって有効な情報を提供するための情報を与えている。
MBA － Electron Backscatter Diffraction － Measurement of average grain size
「マイクロビーム分析 － 電子後方散乱回析 － 平均粒径の測定 」 提案国：BSI（英国）
研磨された断面試料を EBSD 法により結晶方位、方位差と回折パターンの質の分布を測ることにより平均のグレーンサイズを求める方法を記述している。
ISO 14594:2024（JIS K 0189) - new -
MBA － Electron probe microanalysis － Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 波長分散型分光法の実験パラメータ決定のための指針」 提案国：JISC（日本）
電子プローブマイクロ分析法において考慮すべき電子プローブ，波長分光器と試料に関係する実験パラメータの設定の一般的な指針とプローブ電流，プローブ径，不感時間，波長分解能，ハックグラウンド領域，分析深さと体積の測定，見積もり，決定などの手順も示す．研磨された試料に電子プローブを垂直に照射する場合を対象とし，エネルギー分散型分光法は対象外である．
MBA － Electron probe microanalysis － Guidelines for the specification of certified reference materials (CRMs)
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 認証標準物質の仕様のための指針（CRMs）」 提案国：SAC（中国）
電子プローブマイクロアナリシスに用いる単一相の認証標準物質（CRM） の仕様に関る指針を与えるとともに CRM の使用方法に関する指針を与える。ただし、この規定は有機および生体材料には適用されない。
MBA － Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析に使用するエネルギー分散型X 線分光器の仕様記述と点検のために選ばれた装置の性能要素」 提案国：DIN（ドイツ）
EPMA あるいはSEM に用いられるエネルギー分散分光器の性能を決める重要な仕様を規定した規格。エネルギー分解能、不感時間、ピーク/ バックグラウンド比、検出感度のエネルギー依存などの計測が要求事項として定められ、これらに加えて点検事項としてエネルギースケールと分解能の安定性、パイルアップ効果の確認が要求される。
MBA － Analytical electron microscopy － Vocabulary
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 用語」 提案国：JISC（日本）
分析電子顕微鏡に関して実用上必要とされる用語を、物理的基礎、装置、試料処理技術、画像の生成と解釈や校正、電子線回折などと体系的に分類して定義ししている。
MBA － Electron probe microanalysis － Guidelines for determining the carbon content of steels using a calibration curve method
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 検量線法を用いた鋼中炭素濃決定に対するガイドライン」 提案国：JISC（日本）
この規格は EPMA で検量線を用いて鋼中固溶炭素量を正しく求めるために試料前処理、X 線測定、検量線の作成、分析結果の不確かさの決定などのガイドラインを与えるものである。対象となる炭素濃度は基本的には 1 質量％までである。
ISO 16700:2016（JIS K 0149-1）
MBA － Scanning electron microscopy － Guidelines for calibrating image magnification
「マイクロビーム分析 － 走査電子顕微法 － 像倍率校正法」 提案国：JISC（日本）
本規格は、適切な標準物質を利用して走査電子顕微鏡の像倍率を校正するための方法を規定するもので、ISO 16700:2004 の改訂第 2 版である。この方法は、倍率校正用の標準物質が有する構造サイズの範囲で決まる像倍率に適用が限定される。本規格は､さらに精確さと精度が要求される測長 SEM(CD-SEM) には適用しない。
MBA － Electron probe microanalysis － Guidelines for qualitative point analysis by wavelength dispersive X-ray spectrometry
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 波長分散 X 線分光法による定性点分析のためのガイドライン」 提案国：JISC（日本）
電子プローブマイクロ分析装置や走査電子顕微鏡に装着された波長分散型 X線分光器を用いて取得された X 線スペクトルを解析して、試料の限られた体積（立方 μm スケール）内の元素を同定し、また特定の元素の存在を調べるためのガイドラインを与えるもの。
ISO 19214:2024 - new -
MBA － Analytical electron microscopy － Method of determination for apparent growth direction of wirelike crystals by transmission electron microscopy
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 透過型電子顕微鏡による針状結晶の優先成長方位の決定方法」 提案国：SAC（中国）
針状結晶の結晶学的な優先成長方向を、TEM制限視野回折図形を用いトレース解析を利用して決定する方法。数十から数百nmの針状結晶に幅広く適用可能。
MBA － Electron probe microanalysis － Guidelines for performing quality assurance procedures
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 品質保証手順実施のためのガイドライン」 提案国：ANSI（米国）
EPMAのオペレータが定期的に装置が最適な状態で働いているかを確認するための手順や問題のある場合のトラブルシューティングのためのガイドラインである。EPMAシステムの主要な構成ユニットと独立に試験し機能を完全に評価するために必要な参照試料の性質や分析手順も含まれている。
ISO 20263:2024 - new -
MBA － Analytical electron microscopy － Method for the determination of interface position in the cross-sectional image of the layered materials
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 層状材料の断面像における界面位置の決定方法」 提案国：JISC（日本）
多層材料の断面TEM/STEM画像中のROIセットから得られた蓄積強度プロファイルの微分処理を用いて、平均界面位置を決定する方法を提供する 。
MBA － Methods of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS
「マイクロビーム分析 － WDS およびEDS を用いた一般的な粉体の分析のための試料前処理」 提案国：JISC（日本）
分析目的や粒子径で分類されたWDS、EDS 分析のための試料前処理手順で、100nm 以上、100μm 以下の粒子を対象とする。ただし、鑑識や極微量分析など特殊な目的への応用は含まれない。
MBA － Scanning electron microscopy － Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
「マイクロビーム分析 － 走査電子顕微法 － 定量的測定のためのSEM の性能実証」 提案国：ANSI（米国）
SEM 画像により信頼性のある定量的測定を行うために、基本的なSEM の性能、すなわち、像シャープネス、ドリフトと歪、試料汚染、像倍率、画像の直線性、ノイズ、プローブ電流安定度などを評価する。
MBA － Scanning electron microscopy － Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
「マイクロビーム分析 － 走査電子顕微法 － CD-SEM による線幅評価の方法」 提案国：SAC（中国）
想定した形状モデルに対し、モンテカルロ法を用いて生成した Model Base Library（MBL）からSEMとしてのラインプロファイルを求め、これを実測した CD-SEM のラインプロファイルにフィッティングさせることにより、半導体デバイスの微細構造の測長を行う方法を規定する。
ISO 22029:2022 - new -
MBA － EMSA/MAS standard file format for spectral-data exchange
「マイクロビーム分析 － スペクトルデータ交換のためのEMSA/MAS 標準データフォーマット」 提案国：BSI（英国）
マイクロビーム分析関連のスペクトルデータ用の標準スペクトルフォーマット。米国の顕微鏡学会、マイクビーム分析学会が定めたEMSA/MAS フォーマットに準拠している。EDS、EELS、WDS、CL などが対象と想定されているが、一次元配列のスペクトルデータ全般に使用可能である。
MBA － Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above
「マイクロビーム分析 － エネルギー分散分光器 (EDS) を用いた元素の定量分析」 提案国：BSI（英国）
この規格は、SEM や EPMA に搭載された EDS 分光器において、原子番号がNa(11)以上の成分元素の定性分析、および濃度が 1mass%（質量%）以上の元素の定量分析を行う上での一般的なガイダンスを与えるためのものである。また軽元素に関する元素分析のガイダンスも与えられている。
MBA － Electron probe microanalysis － Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
「マイクロビーム分析 － 電子プローブマイクロ分析法 － 波長分散 X 線分法による定量分析のためのガイドライン」 提案国：JISC（日本）
この規格は EPMA 定量分析を正しく行う為のガイドラインである。定量分析の原理、適用範囲、及び、装置条件や試料前処理、測定条件、測定方法やレポート項目についても記載している。
MBA － Scanning electron microscopy － Vocabulary
「マイクロビーム分析 － 用語 － 走査電子顕微鏡（SEM）に用いられる用語の定義」 提案国：SAC（中国），JISC（日本）
走査電子顕微鏡に関して実用上必要とされる用語を、体系的に分類して定義している。
MBA － Analytical electron microscop－ Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 電子エネルギー損失分光分析のためのエネルギー分解能決定方法」 提案国：JISC（日本）
電子エネルギー損失分光装置が装着されている透過／走査透過電子顕微鏡において、エネルギー分解能の決定方法とその測定手順について規定する。
MBA – Electron probe microanalysis – Quantitative analysis of Mn dendritic segregation in continuously cast steel product
「マイクロビーム分析 ― 電子プローブ微小分析 ― 連続鋳鋼製品中のMn樹枝状偏析の定量分析」 提案国：SAC（中国）
連続鋳造の鉄鋼ビレットのMnデンドライトの定量のために面分析または線分析の手順とMnの定量計算、析出比計算の手順などを定義している。
MBA – Guidelines for misorientation analysis to assess mechanical damage of austenitic stainless steel by electron backscatter diffraction (EBSD)
「マイクロビーム分析 ー 電子後方散乱回折(EBSD)によるオーステナイト系ステンレス鋼の機械的損傷を評価するためのミスオリエンテーション分析に関する指針」 提案国：JISC（日本）
電子後方散乱回折法（EBSD）を用いて、金属材料の塑性変形やクリープ変形による疲労やクリープなどの機械的損傷を評価するための方位ずれ解析の指針について記述したものである。この国際規格は、このような機械的損傷評価のためのミスオリエンテーションパラメータを定義し、測定条件を規定する。本指針は、発電所等の各種部品に広く使用されているオーステナイト系ステンレス鋼の機械的損傷を評価するために推奨するものである。
また機械的損傷とは、外部からの過負荷、疲労、クリープなどにより構造材料が破壊される損傷を指し、化学的、熱的損傷そのものを除くものとする。
MBA －Electron backscatter diffraction － Quantitative determination of austenite in steel
「マイクロビーム分析 — 電子後方散乱回折 — 鋼中のオーステナイトの定量的測定」 提案国：SAC（中国）
電子後方散乱回折法（EBSD）を用いた鋼中のオーステナイトの定量分析手順について規定したものである。本規格は、主に低・中炭素鋼、低・中炭素合金鋼に適用される。
本規格は、粒径が 50 nm を超えるオーステナイトを分析するために使用される。 この方法は、分析結果の精度に大きな影響を与える可能性がある、粒径 50 nm 未満のオーステナイトの定量には使用できない。
注1）粒径の限界は、装置と装置の動作パラメータの両方に強く依存する。
注2) サイズリミットは、検出可能なオーステナイトの最小粒径である。
MBA － Electron probe microanalysis (EPMA) Vocabulary
「マイクロビーム分析 － 用語 － 電子プローブマイクロ分析法に用いられる用語の定義」 提案国：ANSI（米国），SAC（中国）
この規格は、電子プローブマイクロ分析法（EPMA）の国際規格文書において用いられる用語を定義するためのものであり、用語を体系的に分類して記載している。
ISO 24173:2024 - new -
MBA － Guidelines for orientation measurement using electron backscatter diffraction
「マイクロビーム分析 － 電子後方散乱回折による方位測定の指針」 提案国：SAC（中国）
後方散乱電子回折法によって信頼性と再現性のある結晶方位測定を行うためのガイドライン。試料前処理、装置の構成と校正、データ測定での必要事項をまとめている。
MBA － Scanning electron microscopy － Methods of evaluating image sharpness
「マイクロビーム分析 － 走査電子顕微鏡鏡法－ 画像鮮明度の評価方法」 提案国：JISC（日本）
適切な分解能評価用の物質を利用して、現在行っている走査電子顕微鏡の画像上の最小2 点間の距離を測定する方法ではなく、画像のシャープネス（ 鮮鋭度、分解能に対応） がソフトウエアにより誰でも客観的に評価できる方法を提供する。この評価法には、FT 法、CG 法、DR 法の3 手法が記述されており、それぞれのアルゴリズムを活用しプログラムを作成して用いる。測定結果については、3 手法のうちどれを使用したか明記する。2017 年度の定期見直しでは、投票結果及び 2018 年度のTC 202/SC 4 のISO総会の決議により、TS として更に3 年間延長されることになった。
MBA － Analytical electron microscopy－ Calibration procedure of energy scale for elemental analysis by electron energy loss spectroscopy
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 電子エネルギー損失分光法による元素分析用エネルギースケールの校正手順」 提案国：JISC（日本）
透過型電子顕微鏡における電子エネルギー損失分光法のエネルギーステップ及びエネルギースケールを、0 eV から 3 000 eV のエネルギー範囲において±3 %の不確かさで校正する手順を規定する。
本手順は薄いフォイル試料などの十分に電子透過性のある試料を透過した電子を用いた電子エネルギー損失分光を対象としており，バルク試料からの後方散乱電子を対象としたものではない。
MBA － Analytical electron microscopy－ Selected area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 透過型電子顕微鏡による制限視野電子回折法」 提案国：SAC（中国）
透過電子顕微鏡における電子回折を用いた結晶構造の解析、相の同定を行うに当たって、装置の操作の手順、解析の手順、試料の処理法を規定している。
MBA － Analytical electron microscopy － Methods for calibrating image magnification by using reference materials with periodic structures
「マイクロビーム分析 － 分析電子顕微鏡 － 周期構造をもつ標準物質による画像倍率の校正方法」 提案国：JISC（日本）
透過電子顕微鏡像の倍率を周期構造をもつ標準物質を用いて校正する際の装置操作の手順、得られた像のデジタル化、評点区間の取り方等を規定している。また誤差となりうる要因を解析している。
ANSI： 米国
JISC： 日本
BSI： 英国
KATS： 韓国
SIS：スウェーデン
DIN： ドイツ
SAC： 中国
SNV： スイス
UNI： イタリア
MSZT：ハンガリー
< お問い合わせ > 一般社団法人 表面化学分析技術国際標準化委員会 事務局 〒305-0051 茨城県つくば市二の宮 1-2-3 ベルコムつくばビル 202号室 TEL：029 -893 -5371 FAX：029 -893 -5372 E-MAIL：jsca@jsca-jisc.org アクセス
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