―　講 演 内 容　―

14:00 開会挨拶　藤田大介（JSCA） 

14:05 「共通問題WGにおける国際標準化の概要と進展状況」
　　　　柳内克昭（早稲田大学）
 

【概要】 共通問題WGは、XPS, AES, SIMSなどそれぞれの表面分析手法に共通した項目の標準化につ いて議論するワーキンググループである。国際標準、ISO TC201 SC1 (Terminology), SC2 (General Procedures), SC3 (Data Management and Treatment)の 3 つの SC(Subcommittee) に対応している。SC1・SC2・SC3において成立したISO規格を紹介し、それらがどのように 利活用されたかを示す。次にJIS K 0199:2023「異なる顕微測定装置間における同一箇所分析 のための位置合わせ手順」、 JIS K 0200:2024「計測分析装置の分析データ共通フォーマット」 ２つのJIS規格のISO化を目指す取り組みなど共通問題WGの進展状況について概説する。

14:25「AFMを用いた弾性率測定法のISO標準化活動について」
　　　　中嶋 健（東京科学大学）
 

【概要】 本発表では、ISO/TC201/SC9の活動の中で実現したISO21222文書「AFMを用いたJKR２点法に基づく弾性率測定法」について行ってきた活動の報告を行う。さらには、ISO21222で採用されているJKR２点法を上位互換できるJKR線形化フィット法について、その手法の詳細、現在進行形で進めているVAMAS ILCの進捗についても報告を行う。またAFMによる力学物性計測法の未来、例えば粘弾性体への拡張などについても言及する予定である。

14:45「EBSD技術の活用と国際標準化」
　　　釜谷昌幸 (株）原子力安全システム研究所
 

【概要】電子後方散乱回折を用いた材料分析法（EBSD法）は結晶方位測定速度に代表されるハードウェア性能の発達に伴って急速に普及してきた。近年では、弾性応力の測定など新たな技術も実用されつつある。膨大な結晶方位データが取得できるEBSD法においてはソフトウェア技術の発達も着目される。一方で、装置が市販されてから30年程度と比較的歴史が浅く、EBSD法に関する標準類はまだ限られている。装置性能の定量化、用語やパラメータの定義を共通化など、標準化のニーズが多く存在すると認識している。本講演では、EBSD法の活用の現状について解説するとともに、国際標準化の現状、今後の展望について紹介する。

15:05「Derivative（DR）法による像シャープネス評価法の標準化」
　　　小瀬洋一（株式会社日立ハイテク）
 

【概要】SEM像分解能評価法は主観的な手法（ギャップ法）が使われてきており、公正な競争や顧客の装置選定、品質管理のために客観的な手法を国際標準化する必要がある。2011年発行の技術仕様書ISO/TS24597では、Fourier変換(FT)法、Contrast-to-Gradient(CG)法およびDerivative（DR）法の３法を候補とした。2014年よりStudy Groupを設立しDR法を改良して標準化を目指している。従来DR法は粒子エッジのラインプロファイルを誤差関数でモデル化していた。多様な試料材料とSEM加速電圧を許容するため、今回エッジ効果考慮のフィッティング関数を導出し、エッジ効果が顕著なSEM像の評価を可能とした。現在、評価用プログラムの配布を準備しており、Study Groupによる評価計画などを報告する。

15:25 特別講演「分析電子顕微鏡における国際標準化の歩みと国際幹事の役割」
　　　鍛示和利（株式会社日立ハイテク）
 

【概要】ISO/TC 202（マイクロビーム分析）の分科委員会SC 3（分析電子顕微鏡）では、透過電子顕微鏡とその分析技術に関係する規格を開発している。SC 3は1993年に設立され、幹事国は2005年に日本が米国から引き継ぐこととなり現在に至る。これまでに電子回折法、TEM像倍率校正法、EELS分析法関連で6件の規格が発行され、現在は点分解能決定法、転位密度測定法、FIBによるTEM試料作製法など3件の新規格を開発中、さらにTEM試料膜厚測定法、電子回折法等5件を準備中である。本講演では、これら透過電子顕微鏡に関わる規格開発の経緯とその概要を示すとともに、国際幹事として携わってきたことについてもご紹介する。

16:05 閉会挨拶　野中秀彦（筑波大学）